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產品簡介

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真空是一個無任何物質的空間,例如在真空中沒有空氣也沒有任何其它氣體。 根據真空的純度,通常將真空分為低真空、中等真空、高真空或超高真空。 真空技術在許多現代化生產過程和科研工作中發揮著重要作用。

產品型號:LIC4113V/LIC4193V/LIF481V
更新時間:2025-09-15
廠商性質:經銷商
訪問量:1755
詳細介紹
品牌HEIDENHAIN/德國海德漢

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直線光柵尺在真空技術中的應用

真空是一個無任何物質的空間,例如在真空中沒有空氣也沒有任何其它氣體。 根據真空的純度,通常將真空分為低真空、中等真空、高真空或超高真空。 真空技術在許多現代化生產過程和科研工作中發揮著重要作用。因此,真空技術是電子、薄膜技術、新材料開發、生物技術以及醫藥和 分析技術*的技術。 真空應用對零部件有嚴格的要求,當然也影響到定位應用的編碼器。海德漢針對高真空和超高真空應用特別設計的直線光柵尺能滿足 這些要求,真空版的特殊設計包括:

• 滿足真空要求的PCB,黏膠和漆料,減少氣體析出 • 通氣的空腔,縮短抽真空時間 • 耐高溫,支持較高的加熱溫度 • 無磁鐵材料,提高過程可靠性 • 超凈車間生產,確保高清潔度

 

真空等級

在密閉的空間中,空氣被抽出成為無空氣 的空間。氣室內的空氣減少,氣壓下降, 產生真空。封閉空間中的空氣量越少,氣 壓越低,真空度越高。真空度分為四級。 高于1 mbar的氣壓為低真空度。低于該氣 壓時,為中等真空度。低于0.001 mbar為 高真空度,達到或低于0.000 000•1•mbar 為超高真空度。

 

真空應用

真空需要一個密閉的空間不存在任何空氣, 因此也不存在任何懸浮顆粒,不允許任 何“異物”存在。有時需要在真空中測量 尺寸,例如需要檢查亞微米級的超精細結 構或需要切分和檢查顆粒。直線光柵尺和 角度編碼器在真空中的常見應用包括電子 顯微鏡、機械手、多路執行器、XY工作 臺、電子束顯微鏡,半導體工業的圓晶檢 查或測量同步加速器輻射的光譜儀軸。

 

 

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